鐘罩窯是一種科學技術材料。窯爐外形如一座高大的鐘。燒成時需將窯體罩在產品上，燒成完畢再將鐘罩吊起來，放在一旁。它特別適用于燒成特大型的絕緣子電瓷產品及大件的藝術陶瓷產品。
鐘罩窯所提供的燒結窯爐的主要特性是效率比較高，其智能控制系統和其他設備構成了一個完整的功能單元，可充分滿足鐵氧體行業近乎藝術級的要求?？梢愿鶕枰帉懞蛢Υ嫒魏蔚臏囟?氣氛曲線，來生產高質量的產品。除此以外還可以根據實際需要及時生產任何其他產品，從而縮短交貨期和降低成本。在燒結時僅僅需要少數操作人員，裝載和卸載可以在白天完成，而燒結可以在夜間完成,實現電力調峰，在當今電力緊張情況下，十分實用。
目前設備可用于砷化鎵、硅以及其他半導體材料，離子注入后的退火、硅化物的形成、歐姆接觸制備以及快速氧化、快速氮化等方面。鐘罩窯主要由真空腔室、加熱室、進氣系統、真空系統、溫度控制系統、氣冷系統、水冷系統等幾部分組成的，下面來了解下各組成部分的作用：
1、真空腔室：鐘罩窯真空腔室是其工作空間，晶圓在這里進行快速熱處理。
2、加熱室：加熱室以多個紅外燈管為加熱元件，以耐高溫合金為框架、高純石英為主體。
3、進氣系統：真空腔室尾部有進氣孔，控制的進氣量用來滿足一些特殊工藝的氣體需求。
4、真空系統：鐘罩窯在真空泵和真空腔室之間裝有高真空電磁閥，可以有效確保腔室真空度,同時避免氣體倒灌污染腔室內的被處理工件。
5、溫度控制系統：溫度控制系統由溫度傳感器、溫度控制器、電力調整器、可編程控制器、PC及各種傳感器等組成。
6、氣冷系統：鐘罩窯真空腔室的冷卻是通過進氣系統向腔室內充入惰性氣體，來加速冷卻被熱處理的工件，滿足工藝使用要求。
7、水冷系統：主要包括真空腔室、加熱室、各部位密封圈的冷卻用水。
以上就是鐘罩窯的七大組成部分及作用，到這里小編的分享今天就結束了，希望今天分享的內容能夠對大家有所幫助，若大家還有其他想要了解的問題，歡迎隨時聯系我們進行咨詢。
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